97久久久久久久久精品,欧美大片黄精品一区二区,中文国产成人精品久久App,国产三级视频在线观看视

當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  技術(shù)文章  >  掩模對(duì)準(zhǔn)光刻機(jī)在材料使用上要注意哪些事項(xiàng)?

掩模對(duì)準(zhǔn)光刻機(jī)在材料使用上要注意哪些事項(xiàng)?

更新時(shí)間:2022-11-24  |  點(diǎn)擊率:1168
  掩模對(duì)準(zhǔn)光刻機(jī)是將二維圖案轉(zhuǎn)印到平坦基板上的方法。可以通過(guò)以下兩種基本方法之一實(shí)現(xiàn)圖案化:直接寫(xiě)入圖案,或通過(guò)掩模版/印章轉(zhuǎn)移圖案。限定的圖案可以幫助限定襯底上的特征(例如蝕刻),或者可以由沉積的圖案形成特征。
 
  通過(guò)計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)(CAD)定義圖案模式。多數(shù)情況下,這些特征是使用抗蝕劑形成的,可以使用光(使用光致抗蝕劑),電子束(使用電子束抗蝕劑)或通過(guò)物理沖壓(不需要抗蝕劑,也叫納米壓?。﹣?lái)定義圖案特征。圖案的特征可以被轉(zhuǎn)移到另一個(gè)層蝕刻,電鍍或剝離。
 

 

  掩模對(duì)準(zhǔn)光刻機(jī)的技術(shù)領(lǐng)域:
  根據(jù)所需的特征,有幾種不同的光刻方法。蕞常見(jiàn)的類(lèi)型是光學(xué)光刻和電子束光刻。我們還提供軟和直接寫(xiě)光刻。
  下表比較了我們可用的一些常見(jiàn)光刻方法。批處理是指能夠一次對(duì)整個(gè)樣品進(jìn)行圖案化的能力,例如通過(guò)光掩模或使用壓模的寫(xiě)入方法描述了材料是如何形成圖案,例如通過(guò)UV光,電子束,或直接機(jī)械接觸。
 
  掩模對(duì)準(zhǔn)光刻機(jī)的用料:
  1、光刻膠:
  抗蝕劑是懸浮在溶劑中的聚合物。根據(jù)抗蝕劑的類(lèi)型,可以使用紫外線或電子束選擇性地將其除去??梢詫⑺锌刮g劑大致分為正抗蝕劑或負(fù)抗蝕劑,常見(jiàn)的是正抗蝕劑。在正性抗蝕劑中,在顯影抗蝕劑后將暴露的區(qū)域除去。在負(fù)性抗蝕劑中,在顯影抗蝕劑后仍保留了暴露的區(qū)域。
  不同類(lèi)型的光刻使用不同類(lèi)型的抗蝕劑,因此您需要檢查哪種抗蝕劑適合您的工藝。
 
  2、顯影劑:
  顯影劑是用于在曝光后蝕刻掉光致抗蝕劑的基礎(chǔ)。幾種可用的顯影劑:AZ 726、AZ 300、AZ 400K、MF 319和Microposit Developer??梢栽谠O(shè)備上使用顯影劑。需要檢查每個(gè)設(shè)備是否允許或允許哪些顯影劑。
 
  3、掩模版:
  掩模版用于在曝光期間阻擋光線,因此僅曝光所需圖案內(nèi)的光刻膠。如果在多個(gè)樣本中需要相同的模式,這將很有用。掩模是具有一層鉻和一層光刻膠的玻璃或熔融石英襯底。光刻膠以所需的圖案曝光,然后顯影。之后,使用鉻蝕刻在掩模中設(shè)置圖案。
乱入一二三免费在线观看-久久精品亚洲精品国产色婷婷| 久色高清精品在线国产-国产精品视频一区三区四区| 久久影视av一区二区-人妻激情乱偷一区二区三区| 国产精品美女在线网址-久草免费福利在线观看视频| 国产精品一区二区欧美视频-国产一区二区三区天码| 青青操大香蕉在线播放-国产亚洲欧美精品在线观看| 人妻丝袜中文字幕在线视频-亚洲成av人片一区二区三区| 亚洲av成人一区国产精品网-国产偷_久久一级精品a免费| 亚洲欧美日韩国产一区二区三区-国产欧美日韩一区二区免费| 国产欧美成人精品第一区-日本黄色精品一区二区| 日本高清二区视频久二区-大香蕉在线视频大香蕉在线视频| 国产精品熟女视频一区二区-国产日韩精品欧美一区喷水| 成人免费黄色在线网站-日韩精品一区二区三区四区在线| 国产老熟女激情小视频-成人一区二区人妻不卡视频| 日韩精品中文在线观看一区-亚洲bt欧美bt精品| 欧美日韩国产综合新一区-国产综合av一区二区三区| 久久网址一区二区精品视频-日产国产欧美视频一区精品| 国产精品二区高清在线-91精品91久久久久久| 亚洲中文一二三av网-亚洲天堂成人免费在线| 国产av一区二区三区日韩接吻-av网址在线播放网站| 日韩精品一区二区三区粉嫩av-欧美亚洲国产中文字幕| 99久热精品免费观看四虎-亚洲天堂精品视频在线| 亚洲欧美激情自拍色图-国产亚洲精品sese在线播放| 91精品国产影片一区二区三区-欧美精品久久久精品一区二区| 91精品国产无线乱码在线-999精品视频免费看| 精品国产综合一区二区三区-蜜臀一区二区三区刺激视频| 97一区二区三区在线-欧美护士性极品hd4k| 日本韩国亚洲欧美三级-日本东京不卡网一区二区三区| 精品亚洲卡一卡2卡三卡乱码-一区三区二插女人高潮在线观看| 99在线观看精品视频免费-国产极品一区二区三区四区| 一区二区三区国产高清mm-美女张开腿让帅哥桶爽| 国产老熟女激情小视频-成人一区二区人妻不卡视频| 日本中文字幕啊啊啊啊-久久精品伊人久久精品伊人| 亚洲av高清一区三区三区-久久人妻夜夜做天天爽| 亚洲中文一二三av网-亚洲天堂成人免费在线| 国产欧美日韩中文字幕在线-国产伊人一区二区三区四区| 中文字幕日韩精品不卡在线一区-国产tv日韩在线观看视频| av一区免费在线观看-中文字幕日韩国产精品视频| av中文字幕男人天堂-懂色av一区二区三区在线观看| 久久网址一区二区精品视频-日产国产欧美视频一区精品| 国产免费一区二区三区不-日本少妇免费一区二区三区|