97久久久久久久久精品,欧美大片黄精品一区二区,中文国产成人精品久久App,国产三级视频在线观看视

當(dāng)前位置:首頁  >  技術(shù)文章  >  EVG推出全新突破速度和精度極限的掩模對(duì)準(zhǔn)光刻機(jī)

EVG推出全新突破速度和精度極限的掩模對(duì)準(zhǔn)光刻機(jī)

更新時(shí)間:2023-04-12  |  點(diǎn)擊率:2564

     相較上一代平臺(tái),全新自動(dòng)掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)(IQ Aligner NT)產(chǎn)出率和對(duì)準(zhǔn)精度提升兩倍,為 EVG 光刻解決方案帶來了全新應(yīng)用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、納米技術(shù)以及半導(dǎo)體市場晶圓鍵合和光刻設(shè)備LING XIAN供應(yīng)商EVG集團(tuán)(EVG)近日宣布推出IQ Aligner NT,旨在針對(duì)大容量XIAN JIN封裝應(yīng)用推出的全新自動(dòng)掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。IQ Aligner NT光刻機(jī)配備了高強(qiáng)度和高均勻度曝光鏡頭、全新晶圓處理硬件、支持全局多點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)的全 200 毫米和全300毫米晶圓覆蓋、以及優(yōu)化的工具軟件。與EVG此前推出的IQ Aligner光刻機(jī)相比,產(chǎn)出率和對(duì)準(zhǔn)精度都提升了兩倍。這套系統(tǒng)ZUI DA CHENG DU地滿足了對(duì)后端光刻最嚴(yán)苛的要求,成本相較競爭者降低30%。

      該款IQ Aligner光刻機(jī)支持多種先進(jìn)封裝類型,包括晶圓級(jí)芯片尺寸封裝(WLCSP)、扇出晶圓級(jí)封裝(FOWLP)、三維集成電路/硅穿孔(TSV)、2.5D中介層以及倒裝芯片。

      最新光刻技術(shù)要求

      高級(jí)半導(dǎo)體封裝技術(shù)正在不斷發(fā)展演變,包括增加器件功能和降低每單元功能成本,以便支持全新的器件類型。為促進(jìn)光刻技術(shù)的發(fā)展,需滿足對(duì)先進(jìn)封裝市場的du te要求:

       · 嚴(yán)密的對(duì)準(zhǔn)精度

       · 管理調(diào)整圓晶片的翹曲和解決晶片和掩模版圖尺寸不匹配實(shí)現(xiàn)優(yōu)化覆蓋的能力

       · 對(duì)后端加工過程中發(fā)現(xiàn)的厚層抗蝕劑和介電層進(jìn)行充分曝光的能力

       · 為解決由于設(shè)備縮放而導(dǎo)致的收縮凸起和互連所需的更高分辨率

       · 滿足以上要求的同時(shí),業(yè)界需要一個(gè)具有高成本效益和生產(chǎn)率的光刻工具平臺(tái)

                                              b3bd276f462767c988f0bb4d61b45273_638124856917740696325.jpg

      EVG IQ Aligner NT——全新自動(dòng)掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),產(chǎn)出率和對(duì)準(zhǔn)精度提升兩倍,為 EVG 光刻解決方案帶來了全新應(yīng)用

      EVG執(zhí)行技術(shù)總監(jiān)Paul Lindner表示:“EVG憑借超過 30 年的光刻技術(shù)經(jīng)驗(yàn),推出全新IQ Aligner NT,突破了掩模對(duì)準(zhǔn)技術(shù)的極限。作為光刻解決方案產(chǎn)品組合的最新成員,這套系統(tǒng)的產(chǎn)出率、精度以及性價(jià)比都達(dá)到了QIAN SUO WEI YOU的高度,為 EVG 打開了全新的市場機(jī)遇。我們期待與客戶緊密合作,全力滿足他們對(duì)先進(jìn)封裝光刻技術(shù)的需求。"

      IQ Aligner NT通過改良先進(jìn)封裝光刻技術(shù),將掩模對(duì)準(zhǔn)性能提升至業(yè)界LING XIAN水平:

       · EVG此前推出的IQ Aligner光刻機(jī)相比,高功率鏡頭照明強(qiáng)度提升3倍,特別適合對(duì)與加工凸點(diǎn)、凸塊以及其他陡峭斜面特征有關(guān)的厚層抗蝕劑和其他薄膜進(jìn)行曝光

       · 300 毫米基板上進(jìn)行全亮場掩模運(yùn)動(dòng),在暗場掩模對(duì)準(zhǔn)和圖案定位方面提供了ZUI GAO的工藝兼容性和靈活性

       · 雙基板尺寸理念無需進(jìn)行任何工具更換,為兩種不同的晶元尺寸提供了快速方便的橋式工具

       · 支持全自動(dòng)以及半自動(dòng)/手動(dòng)晶圓裝載操作,實(shí)現(xiàn)靈活性ZUI DA 化

       · 基于最新制造軟件標(biāo)準(zhǔn)和協(xié)議的最新 EVG “CIMF框架"系統(tǒng)軟件

      ZHUO YUE的對(duì)準(zhǔn)精度和產(chǎn)出率

      結(jié)合最XIAN JIN的光學(xué)和機(jī)械工程與優(yōu)化的工具軟件,IQ Aligner NT的產(chǎn)出率增加了兩倍(相較SHOU次曝光> 200wph,相較頂側(cè)對(duì)準(zhǔn)> 160wph,對(duì)準(zhǔn)精度提升了兩倍(250nm 3-sigma)。通過更嚴(yán)格和精準(zhǔn)的規(guī)范,能夠幫助客戶提高GAO DUAN和高帶寬封裝產(chǎn)品的產(chǎn)量。

      另外,EVG將與SEMICON China合作,并于314日在上海浦東嘉里大酒店舉辦EVG中國技術(shù)日。來自EVGSMIC和市場研究公司Yole Development的嘉賓將就先進(jìn)封裝市場的發(fā)展、EVG最新解決方案以及技術(shù)使用案例進(jìn)行演講。

     

      關(guān)于EV集團(tuán)(EVG)和岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司

      EVG集團(tuán)(EVG)是半導(dǎo)體制造、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、化合物半導(dǎo)體、電源器件、納米技術(shù)設(shè)備領(lǐng)域中LING XIAN的設(shè)備及工藝解決方案供應(yīng)商。主要產(chǎn)品包括:晶圓鍵合、薄晶圓加工、光刻/納米壓印(NIL)和計(jì)量(測量)設(shè)備,同時(shí)也生產(chǎn)涂膠機(jī)、清洗機(jī)和檢查設(shè)備。EVG集團(tuán)成立于1980年,為遍布世界各地的全球客戶和合作伙伴網(wǎng)絡(luò),提供服務(wù)與支持。岱美儀器作為EVG中國區(qū)的代理商,為本地用戶提供便捷的服務(wù)。











免费午夜福利在线观看-黄色日本黄色日本韩国黄色| 国产成人精品亚洲精品密奴-国产成人AV无码精品| 小12萝自慰喷水亚洲网站-chinese偷拍一区二区三区| 久久久噜噜噜久久狠狠50岁-精品一区二区三区av| 四虎成人在线免费视频-亚洲熟女中文字幕天堂| 亚洲视频一区二区三区免费-国产一级黄色大片在线| 午夜福利卫生纸福利院-一区二区三区久久亚洲| 午夜精品午夜福利在线-内射无套内射国产精品视频| 四虎成人在线免费视频-亚洲熟女中文字幕天堂| 国产一级片久久免费看同-麻豆精品尤物一区二区青青| 国产黄污网站在线观看-成人av电影中文字幕| 性色国产成人久久久精品二区三区-偷窥中国美女洗澡视频| 免费午夜福利视频在线观看-亚洲成人日韩欧美伊人一区| 99在线观看精品视频免费-国产极品一区二区三区四区| 欧美日韩国产综合四区-爆操极品尤物熟妇14p| 亚洲黄片三级三级三级-国产成人一区二区在线视频| 黑丝av少妇精品久久久久久久-中文字幕久久久人妻无码| 夜夜久久国产精品亚州av-欧美大屁股一区二区三区| 国产一级片久久免费看同-麻豆精品尤物一区二区青青| 久久久精品欧美日韩国产-欧美精品乱码视频在线| 亚洲另类自拍唯美另类-99国产精品兔免久久| 国产精品久久久精品一区-99久久免费精品国产男女性高好| 日韩精品中文在线观看一区-亚洲bt欧美bt精品| 三上悠亚免费观看在线-青青草原在线视频观看精品| 国产欧美成人精品第一区-日本黄色精品一区二区| 国产人妻人伦精品日本-国产98超碰人人做人人爱| 亚洲女人黄色录像一区-日韩av电影在线免费看| 亚洲愉拍自拍欧美精品app-亚洲一区不卡在线视频| 黄片黄片在线免费观看-激情综合网激情五月俺也去| 性都花花世界亚洲综合-日韩av一区二区三区| 久色高清精品在线国产-国产精品视频一区三区四区| 日本高清二区视频久二区-大香蕉在线视频大香蕉在线视频| 国产精品电影在线一区-亚洲国产大片一区二区官网| 国产精品v欧美精品v日韩精品-国产欧美日韩精品区一区二污污污| 亚洲日本一区二区三区黄色电形-中文字幕乱码免费熟女| 97一区二区三区在线-欧美护士性极品hd4k| 国产人妻人伦精品日本-国产98超碰人人做人人爱| 青木玲高清中文字幕在线看-视频在线免费观看你懂的| 在线视频成人一区二区-亚洲另类中文字幕在线| 18禁真人在线无遮挡羞免费-中文字幕精品一区二区三区四区| 亚洲欧洲成视频免费观看-国产福利一区二区在线观看|