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光學(xué)粗糙度測(cè)試儀

簡(jiǎn)要描述:OptoScan 600是一款光學(xué)粗糙度測(cè)試儀,主要用于檢測(cè)晶圓缺陷、粗糙度、波紋度、翹曲度等數(shù)據(jù)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):OptoScan 600
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時(shí)間:2024-11-09
  • 訪  問(wèn)  量: 2487

詳細(xì)介紹

X/Y 掃描 600x600 (mm) 的面板

OptoScan 600 光學(xué)粗糙度測(cè)試儀應(yīng)用:

整體晶圓快速精確檢查

  • 缺陷

  • 粗糙度

  • 波紋度

  • 翹曲

    檢測(cè)臺(tái)

直線電機(jī) X/Y

700 x 700 (mm)

(Witte) 真空吸盤

帶旋轉(zhuǎn)攝像頭傳感器

OptoScan 600 光學(xué)粗糙度測(cè)試儀 檢測(cè)結(jié)果

扇出型封裝面板 (FOPLP ) 研磨后的模具粗糙度

Ra values 0.15 µm / Disco Machine.

測(cè)量通過(guò)拼接 148 次局部區(qū)域掃描(約需 1 小時(shí))


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